抛光加工的机理
抛光切削加工、塑性加工和化学作用的综合过程。 微细磨粒进行的是切削加工,摩擦引起高温而产生挤擦工件表面层的是塑性加工,抛光剂的介质在温度和压力作用下与金属表面层发生的是化学作用。
抛光加工的种类
1、机械抛光:机械抛光是靠切削、材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面的抛光方法
2、化学抛光:化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解,从而得到平滑面。
3、电解抛光:电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分,三酸抛光厂家,使表面光滑。
4、超声波抛光 :将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中,依靠超声波的振荡作用,使磨料在工件表面磨削抛光。
5、流体抛光 :流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。
这两个概念主要出半导体加工过程中,的半导体基片(衬底片)抛光沿用机械抛光、例如氧---、氧化锆抛光等,但是得到的晶片表面损伤是极其---的。直到60年代末,一种新的抛光技术——化学机械抛光技术(cmp chemical mechanical polishing )取代了旧的方法。cmp技术综合了化学和机械抛光的优势:单纯的化学抛光,抛---率较快,表面光洁度高,损伤低,平整性好,但表面平整度和平行度差,抛光后表面一致性差;单纯的机械抛光表面一致性好,三酸抛光价格,表面平整度高,但表面光洁度差,损伤层深。化学机械抛光可以获得较为平整的表面,又可以得到较高的抛---率,得到的平整度比其他方法高两个数量级,是能够实现全局平面化的有效方法。
阳极氧化铝板化学抛光中出现的缺陷及其纠正措施是在生产的发展过程中不断总结完善的。 光亮度不足。这是化学抛光中较关心的事情。光亮度没有达到预期的目标,其原因可从特殊铝材的生产工艺和化学抛光工艺这两方面分析。有关特殊铝材的生产工艺已经有详细的论述。建议采用铝纯度99.70%及其以上级别的铝锭,三酸抛光,来生产特殊铝材;铝材加工工艺中控制为化学抛光得到高光亮度表面奠定基础。化学抛光后,具有---的光亮度。槽液控制中含量不足,三酸抛光工艺,会使表面光亮度不足,其表面可能过多地附着一层铜;含量太高,铝材表面形成彩虹膜,会使表面模糊或不透明,还引起光亮度不足;化学抛光时间不足,温度不够,搅拌不充分,槽液老化等也会使化学抛光表面光亮度不足。槽液的相对密度较大,防止铝材浮出抛光槽液的液面,致使上部铝材光亮度不足。水的影响造成光亮度不足,往往容易被忽视。较---干燥的铝材进入化学抛光槽液,杜绝水分的带入。
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